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      GB/T 1557-2018硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法

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      中国标准分类号(CCS)
      H17
      国际标准分类号(ICS)
      77.040
      发布日期
      2018-09-17
      实施日期
      2019-06-01
      主管部门
      国家标准化管理委员会
      归口单位
      半导体设备和材料标准化技术委员会
      发布单位
      国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
      备注
       

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